关于ANSYS薄膜之间应力传递的疑问？

目前使用ANSYS模拟高应力氮化硅薄膜在硅晶圆上应力传递的过程出现了一个很大的问题：

硅晶圆半径为0.0381m  厚度为525um  氮化硅薄膜厚度为1um

我采用壳单元  把它们定义为两层复合材料   对氮化硅层定义1Gpa的预应力

但是

经过做实验1GPa应力的氮化硅薄膜在硅晶圆上引入的应力大小大概为500Mpa左右   ANSYS模拟出来的应力大小只有1Mpa左右     

求大神分析出现如此大误差的原因

下图为实验测量的大小