关于不同晶向硅的结构的ansys仿真？ 20
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MEMS硅微结构一般由100/110/111三种硅加工，想问一下如何在ansys中仿真不同晶向硅加工的结构，现在只是仿真振型及有关。
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技术邻问答 @snowwave02 @殇雪
2018年1月26日
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MEMS硅微结构一般由100/110/111三种硅加工，想问一下如何在ansys中仿真不同晶向硅加工的结构，现在只是仿真振型及有关。
技术邻问答 
