comsol或者ansys如何仿真压敏电阻(piezoresistive material)? 30
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最近做压力传感器方面的东西,想知道怎么用comsol或者ansys仿真硅的压敏电阻。对硅的压敏电阻的属性不是很了解,比如什么P型掺杂、n型掺杂。主要目的是对长条柱状微米量级的压敏电阻尝试给予不同方向大小和类型的压力,观察压敏电阻在各种情况下的阻值变化。
最近做压力传感器方面的东西,想知道怎么用comsol或者ansys仿真硅的压敏电阻。对硅的压敏电阻的属性不是很了解,比如什么P型掺杂、n型掺杂。主要目的是对长条柱状微米量级的压敏电阻尝试给予不同方向大小和类型的压力,观察压敏电阻在各种情况下的阻值变化。