多晶硅铸锭炉在铸锭生产过程中为什么会出现将碳碳盖板打火或击穿现象?

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多晶硅铸锭炉在铸锭生产过程中为什么会出现将碳碳盖板打火或击穿现象?
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六元碳晶
这应该是真空放电击穿!
2020年4月11日
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