干货 | 碳化硅材料技术对器件可靠性的影响
01
碳化硅晶锭生长及制备方法
图1 各种碳化硅同质异构体生成的条件
02
碳化硅单晶晶锭及衬底片缺陷
03
碳化硅衬底可靠性
04
碳化硅外延生长及可靠性
图2 衬底层和外延层结构
05
碳化硅外延片与衬底片缺陷的关联关系
06
碳化硅外延片缺陷对最终器件的影响
图3 碳化硅外延片缺陷与衬底片缺陷的关联性
表1 外延片缺陷对最终器件的影响
07
碳化硅材料面临的两个挑战
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01
碳化硅晶锭生长及制备方法
图1 各种碳化硅同质异构体生成的条件
02
碳化硅单晶晶锭及衬底片缺陷
03
碳化硅衬底可靠性
04
碳化硅外延生长及可靠性
图2 衬底层和外延层结构
05
碳化硅外延片与衬底片缺陷的关联关系
06
碳化硅外延片缺陷对最终器件的影响
图3 碳化硅外延片缺陷与衬底片缺陷的关联性
表1 外延片缺陷对最终器件的影响
07
碳化硅材料面临的两个挑战