激光刻蚀数值仿真

激光刻蚀是一种采用高能脉冲激光束在零件表面刻蚀出宽度为10~505μm、深度为5~1001μm的微细小槽,以改善材料表面润滑特性的技术。本案例基于COMSOL软件模拟了激光刻蚀的过程,仿真结果如图所示:

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