基于ZnO材料的压电泵设计及仿真

本案例基于COMSOL软件仿真了一压电泵，结构设计如图所示。模拟了压电泵在交流电压作用下底部硅杯的变形结果，如图所示。

压电泵设计结构简图

结构的压电耦合形变

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