ZEMAX软件技术应用专题：Fizeau干涉仪模拟实例
本节介绍一个Fizeau干涉仪的模拟实例。干涉仪有多种类型，这里介绍的Fizeau干涉仪是一种干涉仪，广泛用于测量光学元件和透射波面的表面精度。 这里我们介绍一个使用Fizeau干涉仪来测量透镜的透射波面变形的例子。以下是被测试的系统。 使用一个有效直径为50毫米、焦距为578毫米的平凸透镜。为了表示不对称的像差，用Zernike条纹相位面来增加像散和慧差像差。 还使用了-0.7的圆锥系数。 平凸透镜会导致大的球差。下图是镜头数据编辑器。 背面的焦点是571.982毫米。 以下是光路图。 可以使用分析->波前图对波前进行分析。 下图展示的是波前图的分析结果。波前PV值 0.3821λ、RMS 0.0881λ。 接下来，对Fizeau干涉仪进行建模。 要建立一个含有 "平面光源 "的Fizeau干涉仪模型（即发射准直光），选择 "无焦像空间 "复选框并进入无焦模式，如下图所示。 在对 "球面原型 "进行建模时（在这里发出会聚光），请将镜头置于正常焦距模式。镜头数据编辑器如下图所示。 在测试透镜后面放一个凸面镜反射光线，这样光线就会重新进入测试透镜。 应注意以下两点：1. 从测试镜头到凸面镜的距离应该是测试镜头的后焦点（571.982毫米）减去凸面镜的曲率半径（本例中为300毫米）。2.尽可能多地拾取数据，以确保在待测数据发生变化时，回程的数据相应变化。 各种系数也被拾取。模型完成后的光路图如下所示。 检查波前像差图。可以看出，波前像差为0.7642λpv和0.1762λRMS，是单透镜的两倍。 也可以看出，不对称像差没有问题（因为往返的光通量通过被测镜头上的同一个地方）。因此，Fizeau干涉仪输出值的1/2是被测透镜本身的波前像差。 此外还可以使用下图的干涉图分析功能进行波前分析：  放大率被设置为1。 帮助文件指出，对于双通道光学系统，放大率应设置为2，但这是在双通道光学系统被建模为简化的单通道时。 如果像本例中那样对整个双通道进行建模，则应将放大率设为1。Ansys Zemax国内可靠代理商 光研科技南京有限公司是国内可靠的光学软件和仪器光电供应商，提供企业定制化上门培训服务，承接各类光学设计项目，并有一系列自主编写出版的光学设计书籍。公司拥有一支高素质、高水平、实战经验丰富的管理，销售以及研发团队，从成立到现在已经为广大企业，研究所以及高校提供了很多优秀的产品和服务，是光电圈内值得信赖的企业。追光逐梦，研以致用！以用户的需求为起点，为客户提供有价值的光学产品和服务一直都是光研科技南京有限公司的宗旨。
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