白光干涉仪测量的那些3D形貌

白光干涉仪能测什么？有着“纳米眼”之称的白光干涉仪，是一款在纵向分辨率上可实现0.1nm的分辨率和测量可靠性的光学测量仪器。下面就让我们一起来领略下国产白光干涉仪镜头下的3D显微之美。

SuperViewW1白光干涉仪

白光干涉仪采用的光学轮廓测量法可以非接触式测量非平坦样品，轻松测量出弯曲和其他非平面表面，还可以测出曲面的表面光洁度、纹理和粗糙度等，同时不会像探针是轮廓仪那样损坏薄膜。

白光干涉仪3D形貌图片：

图1.超光滑_纳米级表面

图2.分成了32阶的纳米级微纳光学元件

图3.半导体芯片表面外观

图4.微纳凹凸圆表面

图5.拼接_摩擦磨损工艺零部件

图6.拼接_大区域超光滑凹球面

图7.光学衍射元器件

除主要用于测量表面形貌或测量表面轮廓外，具有的测量晶圆翘曲度功能，非常适合晶圆，太阳能电池和玻璃面板的翘曲度测量，应变测量以及表面形貌测量。非接触高精密光学测量方式，不会划伤甚至破坏工件，不仅能进行更高精度测量，在整个测量过程还不会触碰到表面影响光洁度，能保留完整的晶圆片表面形貌。测量工序效率高，直接在屏幕上了解当前晶圆翘曲度、平面度、平整度的数据。

硅晶圆粗糙度测量

晶圆IC减薄后的粗糙度检测

白光干涉仪所具有技术竞争力在于接触式和光学三维轮廓仪的结合。通过利用接触式及非接触式双模式基于技术上的优势获得获得全面的表面特性。既可以用于科学研究，也可以用于工业产品的检测。