检查微型晶片的光学系统

成像系统>包括光栅

 

任务/系统说明

 

 

亮点

 

 在复杂光学系统中，包含光栅（如，非常大的数值孔径(NA)）

 严格分析光栅衍射效率

 考虑入射光的方向分布

 

说明：光源

 

 

说明：光束分束器

 

 

说明：检测透镜系统

 

 

说明：微型晶片

 

 

说明：检测物镜

 

 

说明：探测器

 

 

结果：3D光线追迹（只有0级）

 

 

结果：3D光线追迹（所有级）

 

 

结果：光线追迹

 

结果：场追迹

 

结果：线性偏振光的场追迹

 

 

文档和技术信息