VirtualLab:薄元近似(TEA)与傅里叶模态法(FMM)的光栅建模

摘要
VirtualLab:薄元近似(TEA)与傅里叶模态法(FMM)的光栅建模的图1                                                   
薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而,我们也知道,对于较小的光栅周期,也就是当其更接近于光的波长时,近似变得不准确。在本例中,选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA,这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅,通过比较结果,我们研究了两种方法的表现                                                             
建模任务
VirtualLab:薄元近似(TEA)与傅里叶模态法(FMM)的光栅建模的图2
光栅元件
VirtualLab:薄元近似(TEA)与傅里叶模态法(FMM)的光栅建模的图3     
通用光栅组件(General Grating Component)允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似,但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到:
• FMM/RCWA
• Diffractive Lens Component  
正弦光栅-效率vs高度(只用TEA)       

VirtualLab:薄元近似(TEA)与傅里叶模态法(FMM)的光栅建模的图4                                        
正弦光栅-传输相位形态     

VirtualLab:薄元近似(TEA)与傅里叶模态法(FMM)的光栅建模的图5
正弦光栅-传输相位形态                                                        

VirtualLab:薄元近似(TEA)与傅里叶模态法(FMM)的光栅建模的图6
 
正弦光栅-衍射效率

VirtualLab:薄元近似(TEA)与傅里叶模态法(FMM)的光栅建模的图7
正弦光栅-效率vs. 周期                                                       

VirtualLab:薄元近似(TEA)与傅里叶模态法(FMM)的光栅建模的图8
正弦光栅—选定周期的相位形态                                      
                                                        VirtualLab:薄元近似(TEA)与傅里叶模态法(FMM)的光栅建模的图9
闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) 

VirtualLab:薄元近似(TEA)与傅里叶模态法(FMM)的光栅建模的图10                                                    
闪耀光栅-传输相位形态                                                        
 
VirtualLab:薄元近似(TEA)与傅里叶模态法(FMM)的光栅建模的图11
 
闪耀光栅-衍射效率                                                        

VirtualLab:薄元近似(TEA)与傅里叶模态法(FMM)的光栅建模的图12
                                                            
闪耀光栅-效率vs.周期                                                        

VirtualLab:薄元近似(TEA)与傅里叶模态法(FMM)的光栅建模的图13
                                                            
闪耀光栅-选定周期相位形态                                                        

VirtualLab:薄元近似(TEA)与傅里叶模态法(FMM)的光栅建模的图14
                                                            
VirtualLab Fusion技术   

VirtualLab:薄元近似(TEA)与傅里叶模态法(FMM)的光栅建模的图15
文件信息

  VirtualLab:薄元近似(TEA)与傅里叶模态法(FMM)的光栅建模的图16

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