VirtualLab运用：导出制造数据

光整形>衍射光学

 

任务说明

 

灵活地导出制造数据：

- 平滑的界面

- 量化界面

- 镜子/棱镜/光栅单元阵列

 

亮点

 导出各种表面形状的制造数据

 导出像光刻制造技术的二元掩膜的量化界面

     

 

一般界面的制造数据

 

支持文件格式：

- 纯文本

- ASCII码

- 点云

- CAD格式（例如，STL，IGES）

 

STL导出平滑界面（例如Asphere）

 

采样高度剖面的STL导出

 

 

 

量化界面的GDSII导出

 量化的界面数据可以直接导出到GDSII的文件格式。

 这个文件格式主要是用于，如光刻曝光技术。

 

 

文档和技术信息

 

 

PC用于模拟的规格