大数值孔径显微镜极限分辨率的研究

光学测量＞显微

 

任务/系统视图

 

 

亮点

 

 

 显微镜系统中光栅的全矢量分析

 在几秒钟内对复杂系统进行快速高性能分析

 光线追迹和物理光学建模之间的简单切换

 

说明：光源

 

 

 

说明：透镜系统

 

说明：样品结构

 

 

说明：探测器

 

 

结果：3D光线追迹

 

 

 

结果：光线追迹

 

 

结果：光线追迹衍射级数

 

 

结果：场追迹采样平面

 

 

结果：场追迹焦平面

 

 

结果：减小光栅周期
 

随着光栅周期的减小，光栅结构不能被分辨。

 

 

 

 

 

文档和技术信息