用于光学检测的斐索干涉仪

2023年5月9日 浏览：1430
摘要  
斐索干涉仪是工业上常见的光学计量设备，通常用于高精度测试光学表面的质量。在VirtualLab Fusion中通道配置的帮助下，我们建立了一个Fizeau干涉仪，并将其用于测试不同的光学表面，例如圆柱形和球形表面。结果表明，表面轮廓对干涉条纹的产生是敏感的。
用于光学检测的斐索干涉仪的图1  
建模任务   
用于光学检测的斐索干涉仪的图2
测试表面
用于光学检测的斐索干涉仪的图3
非序列追迹
用于光学检测的斐索干涉仪的图4
通用探测器和探测器附加组件  

用于光学检测的斐索干涉仪的图5

总结-组件 …

用于光学检测的斐索干涉仪的图6

用于光学检测的斐索干涉仪的图7

观测下的倾斜平面

用于光学检测的斐索干涉仪的图8

被观测圆柱面

用于光学检测的斐索干涉仪的图9

被观测球面

用于光学检测的斐索干涉仪的图10



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