用于光学检测的斐索干涉仪

摘要

 斐索干涉仪是工业上常用的一种光学测量仪器，常用于高精度的光学表面质量检测。利用VirtualLab Fusion的非序列追迹技术，我们建立了斐索干涉仪，并将其用于测试不同的光学表面，如柱面和球面，可以发现由此产生的干涉条纹对表面轮廓很敏感。 建模任务

 观测倾斜平面

 观测柱面

 观测球面

 走进VirtualLab Fusion

 VirtualLab Fusion的工作流程 设置输入场- 基本光源模型 [教学视频]  使用表面构造真实元件  定义元件的位置和方向- LPD II：位置和方向 [教学视频]  为非序列场追迹设置合适的通道- 非序列场追迹的频道设置 [用例] 

 VirtualLab Fusion技术

 文件信息

 延伸阅读
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