用于光学检测的斐索干涉仪

摘要

用于光学检测的斐索干涉仪的图1
 斐索干涉仪是工业上常用的一种光学测量仪器,常用于高精度的光学表面质量检测。利用VirtualLab Fusion的非序列追迹技术,我们建立了斐索干涉仪,并将其用于测试不同的光学表面,如柱面和球面,可以发现由此产生的干涉条纹对表面轮廓很敏感。 

建模任务

用于光学检测的斐索干涉仪的图2
 观测倾斜平面

用于光学检测的斐索干涉仪的图3
 观测柱面

用于光学检测的斐索干涉仪的图4
 观测球面

用于光学检测的斐索干涉仪的图5
 走进VirtualLab Fusion

用于光学检测的斐索干涉仪的图6
 VirtualLab Fusion的工作流程 设置输入场- 基本光源模型 [教学视频]  使用表面构造真实元件  定义元件的位置和方向- LPD II:位置和方向 [教学视频]  为非序列场追迹设置合适的通道- 非序列场追迹的频道设置 [用例] 
用于光学检测的斐索干涉仪的图7 VirtualLab Fusion技术
用于光学检测的斐索干涉仪的图8 文件信息
用于光学检测的斐索干涉仪的图9 延伸阅读
- 基于激光的迈克尔逊干涉仪和干涉条纹探测- 马赫-泽德干涉仪

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