SYNOPSYS 光学设计软件课程四十八：从初始结构开始设计的微光刻透镜

课程四十八：从初始结构开始设计的微光刻透镜

你现在使用的电脑有一个中央处理器，它的晶圆片是用一个非常复杂的镜头曝光加工而来的。这类镜头可能含有20或30个以上的镜片组成，是世界上最精细的镜头。如果你想更好的学习光学设计，这将是一个好的学习例子。

本课将给出一个学习例子:

1. 镜片数22片

2. 物高31mm

3. 物方数值孔径NA 0.2

4. 波长为UV

5. 像方晶圆尺寸是12.66mm

6. 总长小于1200mm

这种透镜在物方和像方上都是有限共轭的，最好分两步设计。首先，我们将为左半部分设计一个镜片组，可以让光束经过遮光罩，光束到中心后被准直。然后我们将为右半部分设计第二个镜片组，将准直光束成像到晶圆片上。

首先，我们将使用 DSEARCH 为左半部分设计出11个镜片的镜头，输入的命令如下：

下面是对 DSEARCH 的输入：

CORE 14TIME 
DSEARCH 2 QUIET

SYSTEM 
ID DSEARCH LEFTUNI MMOBA 15 31 3 31OSNA .2TCOWAVL .354732 .354712 .354692AFOCENDGOALSELEM 11TOTL 600 .1TOPD .01NPASS 50QUICK 20 50ANNEAL 50 10 QSNAP 10RSTART 1000ASTART 25THSTART 12FOV 0 .5 .707 1  FWT 1 1 1 1ENDSPECIAL PANTCBOUNDS 1.88 -6.57 1.49 78.55FBOUNDS 1.92 22.16 1.50 62.67CUL 1.6FUL 1.6ENDSPECIAL AANTADT 7 .01 1M 0 .1 A SAPM 0 .1 A P YA 1 0 0 0 LB1ENDGOTIME 

返回一个非常好的初始结构，我们将它保存。 使用命令为： SAVE LEFT11.

 现在激活 ACON 2，我们使用 DSEARCH 来设计右半边的镜片组，输入命令如下：

CORE 14TIME 
DSEARCH 3 QUIETSYSTEM ID DSEARCH RIGHT  UNI MMOBB 0 4 83.36WAVL .354732 .354712 .354692ENDGOALSELEM 11TOTL 600 .01FNUM 1BACK 11 SETTOPD .01STOP FIRSTSTOP FIXEDNPASS 50QUICK 20 50ANNEAL 50 10 QSNAP 10RSTART 1000ASTART 25THSTART 12FOV 0 .5 .707 1FWT 1 1 1 1ENDSPECIAL PANTCBOUNDS 1.88 -6.57 1.49 78.55
FBOUNDS 1.92 22.16 1.50 62.67CUL 1.6FUL 1.6ENDSPECIAL AANTADT 7 .01 1M 0 1 A P HH 1M 0 10 A P YA 1S GIHTM 0 10 A DI3ENDGOTIME

结果很好，我们保存了这个镜头，使用命令： SAVE RIGHT11.

现在把这两部分合并起来。再次激活 ACON 1，并输入：

    COMBINE 23

  RIGHT11.

现在它们被合并成了一个镜头。

现在打开由 DSEARCH 为右半部分镜片组准备的优化宏，修改 TOTL的设置，指定1200mm长度的上限(LLL 1200 .01 1 A TOTL)。还为后焦添加一个控制目标，现在由 solve 控制。(M 11 .1 A BACK)。然后运行宏并模拟退火(33,2,50)。镜头得到了改进。

查看多视场衍射  MTF ，在像质分析中，选择 MTF（衍射） 多视场衍射  MTF ，颜色为  M， 然后运行  MMF

查看畸变图，在像质分析中，选择像差畸变，颜色为 M ，运行 DIS

我们有了一个非常好的微光刻镜头。

很高兴您选择 SYNOPSYS 来设计您的镜头，它可以快速的做出非常好的设计。