XPS峰形拟合.

X射线光电子能谱分析(X-ray photoelectron spectroscopy, XPS)是用X射线去辐射样品,使原子或分子的内层电子或价电子受激发辐射出来。

XPS可以用于元素的定性、定量分析,固体表面的化学组成或元素组成,原子价态,表面能态分布,测定表面电子的电子云分布和能级结构等。

在无机非金属领域,XPS最常见的用途是价态研究。根据原子周围的化学环境差异,光电子峰位置在单质和不同化合物中会不一样,相互之间的能量差可以为零点几到十几电子伏特,这正是光电子能谱用于研究原子价态的依据。

可是我们经常测试完之后,得到的都是excel数据,至多再给我们一个不能编辑的结合能谱。

图 1

XPS峰形拟合.的图1

XPS峰形拟合.的图2

全谱一般不用拟合,直接拿原始数据在origin中绘图即可;但单元素的特征能谱直接绘制图谱就有点粗糙,必须进行拟合才能用于PPT和发文章。也就需要我们对原始的excel数据进行拟合,再和拟合之后的数据一起绘制需要的图谱。很多刚接触XPS的同学都不会XPS峰形拟合,今天就教大家拟合的基本流程和具体操作。

一、必备软件

XPSPEAK41

二、准备数据

.xls或者.txt或.dat格式的XPS数据

三、拟合开始

1.将需要绘图的两列数据复制出来,保存为.dat格式的数据。

2.打开XPSPEAK41软件,左击“Data”→“Import(ASCII)”→选择改好格式的.dat数据,打开,出现图谱。

图 2

XPS峰形拟合.的图3

3.点击“Back ground”,弹出背景选择对话框,根据元素结合能的峰位置,选择 “High BE”“Low BE”的数值,点击“Accept”。可以对高底“BE”进行微调,至背底处于合适的位置。

图 3

XPS峰形拟合.的图4

4.点击“Add Peak”,出现一个峰位。

图 4

XPS峰形拟合.的图5

5.通过手动调节峰位”Position”、半峰宽”FWHM”、峰面积”Area”,每个后面都有”Fix”,可根据需要选中固定,先点击后面对应的“Optimise”进行拟合,再点击“Optimise Peak”,进行拟合。

图 5

XPS峰形拟合.的图6

6.如果一个峰拟合的差不多了,但还有部分也可能有峰需要拟合,再点击“Add Peak”,增加一个峰,此时“XPS Peak Processing”面板会出现两个峰。

图 6

XPS峰形拟合.的图7

7.如果拟合过程中多加了一个峰,在“XPS Peak Processing”面板选中多加的峰,“Delete”即可。

图 7

XPS峰形拟合.的图8

8.拟合哪个峰就点击那个,重复步骤5、6进行拟合。达到自己的预期峰形之后,点击“Optimise All”,几个峰一起拟合,至χ2减小不变。拟合完毕(拟合完毕之后,记下拟合的峰位置,便于在Origin中绘图时标注)。

图 8

XPS峰形拟合.的图9

9.为了方便后面直接修改拟合的图谱,可以在XPS Peak Processing”面板中“Save XPS”,进行保存,后面需要修改可直接打开。

图 9

XPS峰形拟合.的图10

四、数据导出及绘图:

拟合完毕后,回到“Region”面板,点击“Data”→“Export Spectrum” →保存.dat数据文件。

打开输出的.dat数据,按需要选择需要的列数,复制后在Origin中绘图,标注特征峰对应的结合能。

来源:材料人

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