倾斜光栅的参数优化与容差分析

摘要

对于如背光、光学连接器和近眼显示等许多应用来说，光如何高效地耦合到波导结构中是一个重要问题。对于这些应用，众所周知倾斜光栅可以高效率地耦合单色光。这个例子展示了使用严格的傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）对倾斜光栅进行优化。对于预定义方向的级次，优化得到的光栅的衍射效率超过90％。此外，还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。

 

建模任务

 

1阶的参数优化

 

结果-容差分析

 

结果-容差分析

 

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VirtualLab Fusion的工作流程

 

•构造光栅结构

 - 使用特殊介质配置光栅结构[用例]

 - 倾斜光栅的高级配置[用例]

•分析光栅衍射效率

 - 光栅级次分析器[用例]

•使用参数优化优化光栅参数

•使用参数运行进行容差分析

 - 参数运行文档的用法[用例]

 

VirtualLab Fusion技术

 

文件信息

 

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