静电驱动悬臂梁静电-结构及动态特性耦合分析（三章全）

静电-结构耦合分析：

    在电极与悬臂梁之间加直流电压，了解不同的电压下，悬臂梁的Y向位移和内部应力情况。

动态分析：

（1）U形悬臂梁自然状态下模态分析：无驱动电压时，U形结构的谐振频率分析

（2） U形悬臂梁谐响应分析：驱动电压为谐波时，以该电压的频率为变量，U形结构两臂的最大位移随驱动电压频率变化的特性（位移的频率特性）

（3）预应力状态下模态分析：当驱动电压为某直流量，也就是U形结构的两臂受以固定作用力时（所谓预应力状态），U型结构的谐振频率分析

（4）预应力状态谐响应分析：当驱动电压在此基础上叠加一交流小分量，也就是预应力条件下，U形结构两臂的最大位移随驱动电压频率变化的特性